与“FOUP内壁污染”相关的标签

FOUP与晶圆载具是晶圆在厂内移动时全程贴身的容器，内壁颗粒却不容易验证：结构封闭、卡槽密集，擦拭布伸不进去，表面颗粒扫描仪也放不进去。本文拆开载具内壁污染的四条来源路径，逐一说明四种检查手段各自能看到什么，并给出卡槽逐条扫的手法、荧光图样反推清洗工艺的思路与七步复检流程。