半导体颗粒物检测

半导体颗粒物检测专题：空气数据合格不等于表面干净，晶圆、载具、机台、FFU与导轨的沉降颗粒与有机残留怎么查。按粒子计数、表面扫描、荧光定位、擦拭取样四种手段分工，配MNT-365A、LUYOR-365L与3360G的黄绿光表面检查方案，含PM复检流程与判读要点。