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晶圆表面要看的不是颜色，而是颗粒、划痕、雾状污染这类几何缺陷。这类缺陷只有在「缺陷反射的光」和「背景反射的光」差别足够大时才看得见。光源选得对不对，直接决定这个差别有多大。
570–580nm 的黄绿光正落在人眼视见函数的高敏感区附近：同样辐射功率下，这个波段在人眼里比红光、蓝光都亮，微弱散射光也能被感知到；同时它是窄带单色光，工件自身的色彩差异、环境里的彩色反光都被压掉，画面里剩下的亮暗变化基本只来自缺陷本身。这就是它在半导体与面板行业成为目检惯例光源的原因。
与传统的 100W 高压汞灯相比，LED 版本还省掉了三件麻烦事：不产生紫外线（汞灯谱线里有 365nm 等紫外成分，对操作者和部分材料都不友好）、不含汞、不需要预热。汞灯要等几分钟才稳定，关掉再开又要重新等；3325G 按下即亮，检查节奏不用围着灯转。
检查灯真正的麻烦不是不够亮，而是亮得不均匀：光斑中间过曝一片白，边缘又暗得看不清，同一片工件在不同位置判据不一样，漏检和误判都从这里来。3325G 用 36W 大功率 LED 配光学设计出光，官方描述为「超均匀、宽幅、强照明」，并强调输出恒定、不闪频。
「不闪频」这件事在实际作业里比参数表更值得关注。人眼对 100Hz 以下的亮度波动能感知为闪烁，长时间在闪频照明下工作会引起视觉疲劳；更麻烦的是手机拍照取证——用手机拍检查过程留证时，闪频光源会拍出一条条明暗条纹，缺陷反被判读成「条纹缺陷」。恒流驱动的不闪频输出避免了这个问题。
它的形态是便携式：整机 900g、外形 180×200mm，单手可以拿着沿机台走查，也可以架在台式支架上做固定工位的长时间检查。一个灯两种作业方式，这是它和纯台式灯、纯手电筒的区别。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | LUYOR-3325G（交流供电）｜LUYOR-3325GD（锂电池供电，同规格） |
| 光源 | 36W 大功率 LED |
| 波长 | 黄绿光 570–580nm，单色窄带输出 |
| 出光特性 | 超均匀、宽幅、高照度；恒定输出，无频闪 |
| 启动 | 即开即亮，无需预热 |
| LED 寿命 | 大于 50000 小时 |
| 供电 | 100–240V AC，50/60Hz |
| 重量 | 900g |
| 外形尺寸 | 180 × 200 mm |
| 紫外与汞 | 无紫外线输出、不含汞 |
| 安装方式 | 手持，或配台式支架（选配件） |
关于照度数值：路阳官方中英文产品页只给出「36W 大功率 LED / 超均匀宽幅强照明」，未标注具体 lux。部分旧版资料与经销商页面写有「12 颗 575nm 大功率 LED、光源强度可达 30 万 lux、可检 1μm 级脏污」，属于早期版本口径（LED 颗数与当前官方 36W 描述不一致）。如果照度数值对验收重要，我们可以在发货前用照度计在贵司的工作距离上实测并附数据，以实测为准。
官方应用资料列出的可判读缺陷，可以归成四类：
| 缺陷类型 | 在黄绿光下的表现 | 判读要点 |
|---|---|---|
| 颗粒与污染（particles / contamination） | 亮点或亮斑，边缘清晰 | 与表面齐平的是粘附颗粒；带拖尾的多是擦拭造成的划伤带 |
| 夹杂物（inclusions） | 局部亮斑或暗斑，埋在材料内部 | 换角度后位置不变、不随表面移动 |
| 生长缺陷（growth disturbance / growth holes） | 不规则的雾状区、孔洞 | 外延片常见，需要与工艺已知位置对照 |
| 条纹与结构偏移（stripes / structural shifts） | 规则的明暗条带、错位带 | 注意区分真实条纹与光源频闪、拍摄条纹 |
| 边缘平整度 | 边缘倒角区的反光宽度变化 | 高对比下更容易看出倒角不均 |
| 微结构与不平整（microstructure / unevenness） | 大角度斜照时浮出的高低变化 | 黄绿光比紫外灯与汞灯更容易分辨这类结构差异 |
需要说清楚的是：这类目检能判断「有没有、在哪里」，不能给出尺寸数据。要判定缺陷的具体尺寸与形貌，仍需要显微镜、AOI 或 SEM。
官方给出的适用范围覆盖得很宽，从 1 英寸小片到 18 英寸大片都在范围内：
25 / 38 / 51 / 75 / 100 / 125 / 150 / 200 / 300 / 450 mm（1 / 1.5 / 2 / 3 / 4 / 5 / 6 / 8 / 12 / 18 英寸），含方形晶圆。
硅、锗、碳化硅（SiC）、砷化镓（GaAs）、蓝宝石、玻璃等各类衬底的光学表面检查。
晶圆状态上，覆盖裸片、薄片、扇出（fan-out）、键合片、胶带片、强曲面片（如 eLWB），以及原片与结构化晶圆、单晶与多晶、外延片（EPI）与 SOI 片、金层晶圆；也用于 SEMI 标准片的目视检测。
强曲面片（eLWB、弯月片）是这类检查灯的强项：曲面在不同角度看反光位置差别很大，均匀宽幅的面光比点光源更容易在一次照射里把整片曲面的反光带铺开。
900g 单手可持，沿机台、载具、片盒逐个位置走查。适合机台 PM 后的确认、来料抽检、以及产线上「走到哪查到哪」的巡检。
装上选配灯架后固定在工位，灯头朝下照工件，双手腾出来翻片、贴标、做记录。适合全检岗位与需要反复比对同一位置的场合。
锂电池供电，同规格同光型，摆脱电源线。适合机台内部、无插座的工位，以及需要频繁移动的场景。
选择逻辑很简单：检查位置固定、时间长，用支架；检查位置每天在变，用手持；根本没有插座，用电池版。
| 型号 | 形态 | 光型 | 适合 |
|---|---|---|---|
| LUYOR-3325G | 便携，可配支架 | 36W LED，570–580nm 黄绿光，宽幅均匀面光 | 晶圆、玻璃基板的大面积均匀扫查；一个人拿着就能走遍机台 |
| LUYOR-3318 | 台式柔性臂 | 24W LED 白光 3000K/6000K，匀光板 | 固定工位长时间目检，需要腾出双手；要看颜色与整体外观 |
| LUYOR-3360G | 手电筒 | 20W 激光准直平行光，黄绿/白/黄三款 | 用定向平行光掠射找微小颗粒与划痕，可伸进狭小部位 |
三者的差别在「光怎么打到工件上」：3325G 铺一片均匀面光，适合整片快速扫；3318 是同一思路的台式版本，牺牲移动性换稳定与解放双手；3360G 反过来，把光收成一束，用角度和方向把缺陷「逼」出来。实际产线上，很多工序是先用 3325G 扫全场、再用 3360G 定点确认。
安全提醒。3325G 输出不含紫外成分，不需要紫外防护，但高照度的可见光直接照进眼睛仍会眩目、短时影响视觉。手持时让出光面朝下或朝外，不要对着他人面部；架在支架上时，避免让光斑正对通道方向。
光型、功率、波长一致，差别在供电：3325G 是交流 100–240V 供电，3325GD 是锂电池供电、可以摆脱电源线。机台内部、无插座的工位、需要频繁移动的场景选电池版；固定工位长时间常开选交流版更省事。
白光包含全部可见波段，工件自身的颜色差异和镀膜干涉色都会进来，画面里干扰多，微小颗粒的反差被稀释；紫外灯主要用于激发有机污染的荧光（脱脂、清洗剂残留），拿它找不发光的颗粒与划痕效率不高，而且紫外对眼睛和材料都有额外风险。黄绿光单色、亮度感知高、无紫外，是目检「看几何缺陷」这条路线上的折中。
官方以「36W 大功率 LED、超均匀宽幅强照明」描述出光能力，未给 lux 数值。判断够不够，只需要在你的工作距离上做一件事：把良品上的已知缺陷（比如人为点上的标准颗粒）放在光斑边缘而不是中心，看还能不能辨认——能辨认就够。我们也可以在发货前按你给的工件与距离实测照度并附数据。
在「目视表面检查」这个用途上可以，而且省掉预热时间、没有汞、不含紫外、寿命长得多（LED 超过 5 万小时 vs 汞灯通常数千小时）。但如果工艺文件里把汞灯的特定谱线写进了判据（例如要求某一波段的荧光激发），那就不能直接替换，需要先确认判据依据的是照度还是特定波长。
官方未标固定工作距离，实际以「光斑覆盖你能一次判读的范围」为准：太近则光斑太小、要反复移动；太远则照度不足、边缘更暗。建议先在 25–40cm 之间试，找到照度与覆盖的平衡点后固定下来，并把这个距离写进作业指导书。
不能靠它「量」出 1 微米。它是照明设备，没有放大成像；它做的是把微小散射体的亮度差做出来，让肉眼在合适角度下更容易发现。是否能看到某个尺寸的颗粒，取决于颗粒的散射特性、背景粗糙度、环境光和观察角度，不能简单用一个数字承诺。需要按尺寸判定请用显微镜或 AOI。
可以。除晶圆外，这类黄绿光检查灯在液晶玻璃、手机盖板、光学镜头、触摸屏、柔性基板、网版丝印等行业都用于表面颗粒、划痕、油墨点与 Mura 类缺陷的目视检查，判读逻辑与晶圆一致。
把晶圆尺寸与材料、要判读的缺陷类型、以及检查位置的电源条件告诉我们，我们给出 3325G / 3325GD / 支架的配置建议，也可以通过联系我们留言。
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