FAQ
洁净室的台面上肉眼看着干净，一束侧光扫过去，颗粒、纤维、手印全出来了——这就是表面检查灯的用法。它本身不「成像」，而是用一束角度与光斑可控的强光打在表面上，让污染物和缺陷通过散射现形。选型要回答三件事：什么波段、什么形态、照法对不对。本文按这三件事讲清，文末附常见问题。
先把它和紫外手电筒分清楚：MNT-365A 紫外手电照的是「会发荧光的有机残留」——油脂、清洗剂残渣在 UV-A 下亮起来；表面检查灯照的是「不发光的物理缺陷」——颗粒、划痕、手印、毛刺在侧光下现形。两道检查经常配套使用，不能互相替代。
波段选择的本质，是让缺陷与背景的反差更大：
| 波段 | 特点 | 适合的检测对象 |
|---|---|---|
| 白光（400–760nm） | 颜色还原接近日光，缺陷与底色都能看清 | 机械件外观全检、喷漆、印刷、装配等需要同时看颜色与整体外观的场合 |
| 黄绿光（500–600nm） | 单色窄带输出，人眼对这一波段敏感，背景干扰少 | 晶圆、玻璃盖板、镜头、精密件的颗粒与微划痕；洁净室长时间目检 |
| 黄光（530–670nm） | 不含光刻胶敏感的蓝紫与紫外成分 | 光刻胶等感光材料的作业区（黄光区） |
LUYOR 三款机型都提供多波段版本：3318 有冷白 / 暖白加选配绿光滤色片，3360G 有黄绿 / 白 / 黄三种光源，3325G 为黄绿光专场。拿不准时，黄绿光是兼容面较宽的选择——既保留高反差，又不像纯绿光那样牺牲颜色信息。
| 型号 | 形态 | 光源与照度 | 供电与重量 | 适合 |
|---|---|---|---|---|
| LUYOR-3318 系列 | 台式（匀光板） | 24W；3318W 冷白约 59,000 lux@30cm，3318Y 暖白约 49,000 lux，可加绿光滤色片 | 交流供电；固定工位 | 固定工位的批量外观检查：光学件、机加工件、印刷品全检 |
| LUYOR-3325G | 便携（手持或支架） | 36W LED，570–580nm 黄绿光，超均匀宽幅输出 | 100–240V AC（GD 版锂电池）；900g，180×200mm | 晶圆与载具检查（适配 1–18 英寸）、洁净室大面积巡扫 |
| LUYOR-3360G | 手电筒（伸缩变焦） | 20W；3360G 黄绿光约 28 万 lux@40cm（5cm 光斑），3360W 白光约 13 万 lux，3360Y 黄光约 7 万 lux | 5000mAh 锂电，续航 3–4 小时；340g | 狭小部位、现场巡检、晶圆与精密件复核；铝合金筒身便于擦拭 |
一句话区分：3318 是工位灯，3325G 是巡场灯，3360G 是手电。3318 的匀光板把光铺成一整片，适合摆好样品慢慢看；3360G 的变焦光斑（40cm 处 5 / 10 / 50cm 三档）可以收小找颗粒、放大看面积；3325G 介于两者之间，宽幅输出适合晶圆整面检查。
同一支灯，照法不同，能看到的缺陷完全不同。下表按缺陷类型整理：
| 缺陷类型 | 照法 | 为什么能看见 |
|---|---|---|
| 颗粒、粉尘、毛屑 | 平行光掠射：筒身几乎贴着表面，沿接近 180° 的方向扫过去 | 光线遇到颗粒被折射、散射进眼睛，颗粒在暗背景上成为亮点 |
| 手印、水印、油膜 | 垂直照射：光轴接近 90° 正对表面 | 污染层与基底反射率不同，反射光回到眼睛时呈现亮斑或雾状区 |
| 划痕、麻点、气泡 | 先垂直看，再把灯偏 10°–30° 斜角复核 | 划痕边缘的散射在偏离镜面反射方向时更明显，偏角一扫就亮起来 |
现场经验可以概括成九个字：掠射找颗粒、垂直找手印、斜角找划痕。只用一个角度扫一遍就下结论，是漏检的常见原因。更细的照法拆解见涂装前表面清洁度检查与晶圆载具内壁颗粒检查两篇应用文章。
| 场景 | 照法 | 关注点 |
|---|---|---|
| 晶圆表面颗粒物 | 掠射扫 + 小光斑复核 | 粘附的尘埃、毛屑；先排除划痕再判颗粒 |
| 晶圆掩膜 / 光掩模 | 垂直看图形区，再偏 15°–30° 复看 | 针孔、缺角、颗粒、雾状污染 |
| 液晶屏、玻璃盖板、镜头 | 垂直找手印水印，斜射找划痕 | 镀膜与 AF 层的规律性反光属正常现象，按「孤立、不规则」判缺陷 |
| 金属零件与机加工面 | 掠射找颗粒与毛刺，垂直找划痕 | 抛光面镜面反射强，光斑要收小 |
| 喷漆与涂装表面 | 斜射扫查 | 橘皮、颗粒、流挂、针孔 |
| 洁净室日常巡检 | 按表面类型切换照法，先掠射后垂直 | 机台表面、墙面、传递窗；配合MNT-365A 做荧光残留复核 |
半导体行业的颗粒物检查是这套方法用得较深的领域，从手段选型到复检 SOP 可读半导体颗粒物检测专题与洁净室机台维护巡检应用。
紫外线手电照的是会发荧光的有机残留（油脂、纤维、清洗剂残渣），依赖 UV-A 激发荧光；表面检查灯照的是不发光的物理缺陷（颗粒、划痕、手印、毛刺），依赖侧光散射。洁净室检查通常先紫外扫一遍荧光残留，再用表面检查灯查物理缺陷，两者互补。
两个原因。一是单色窄带（500–600nm）下背景干扰少，颗粒与基底的反差更干净；二是人眼对黄绿波段敏感，同样照度下主观亮度更高，长时间目检不易疲劳。白光的优势在颜色信息完整，适合既要看缺陷又要看颜色与整体外观的场合。
按使用形态选：固定工位、样品摆好慢慢看，选 3318 台式匀光灯；晶圆整面或大面积巡扫，选 3325G 便携灯；狭小部位、现场巡检、需要变焦光斑复核，选 3360G 手电筒。三者波段覆盖不同，也可组合配置。
没有单一答案，取决于照度、观察距离、颗粒与基底的反差特性以及环境光水平。实操上，掠射加暗背景是小颗粒显现的前提；验证能力时用标准比对块或已知样品做现场确认，比照参数表更可靠。
侧光法依赖暗背景对比，环境光越强，微弱的散射信号越容易被淹没。洁净室目检建议关闭或遮挡环境光，观察者适应几分钟后再判；同一检查项目固定光照条件，判据才稳定。
3325G 的 LED 寿命标称大于 50000 小时，3360G 与 3318 同样以照度衰减为实用判据：当照度下降到影响缺陷判断、或与同款新灯对比明显变暗时更换。日常保持镜片清洁，灰尘与手印会显著削弱有效输出。
表面检查灯是「用光把缺陷逼出来」的仪器：波段决定反差上限，形态决定使用场景，照法决定你能看到什么。三款 LUYOR 机型覆盖工位、巡场与手持三种形态，波段上白光、黄绿光、黄光各有位置——把检查对象的类型和工位形态定下来，选型就不难。真正的功夫在照法：掠射、垂直、斜角三步走完再下结论。
