FAQ
颗粒物检测灯这个名字容易让人以为它能数颗粒。实际上它查不了颗粒数——数颗粒靠粒子计数器，颗粒物检测灯做的是另一件事：把肉眼看不见、或者被忽略的污染找出来，并告诉你那是什么。厂里常见的场景是 PM 复检、载具内壁检查、来料验收——空气数据合格，不代表表面干净。
这里要先分清两条技术路线，因为它们的分工决定了选型方向：
两者不是替代关系。紫外照有机、强光照无机，缺一条就会漏检——这是洁净区复检的基本原则。本文按这个框架把在售设备过一遍，文末附常见问题。
| 手段 | 能查到的污染物 | 查不到什么 |
|---|---|---|
| 365nm 紫外荧光（黑光灯/紫外手电筒） | 纤维、皮屑、手套油脂、指纹、清洗剂与水基残留、部分荧光示踪剂 | 硅屑、磨料、金属屑、玻璃碎屑等无机颗粒不发光 |
| 黄绿光/白光强光掠射（表面检查灯） | 无机颗粒、划痕、麻点、毛刺、手印、水渍与油膜 | 深色底面上的低对比度缺陷，纤维等柔软污染的形貌判读 |
| 粒子计数器 | 空气悬浮颗粒浓度与粒径分布（定量） | 表面污染位置与性质 |
| 擦拭取样 + 实验室分析 | 指定点位的颗粒数与离子残留（定量、可追溯） | 大面积快速普查，敞开面与深槽受限时效率低 |
把四者串起来就是完整链路：强光看有没有、紫外看是什么、计数器给空气数据、擦拭取样做定量确认。更完整的手段选型与判读体系见半导体颗粒物检测专题与机台PM后颗粒复检SOP两文。
| 型号 | 形态与参数 | 防护与洁净适配 | 适合的活 |
|---|---|---|---|
| LUYOR-BBMA | 8 颗 365nm LED 阵列 + 白光阻挡滤光片；38cm 处中心 9000 μW/cm²，有效光斑 28.5cm；交流供电 1.2kg | IP68 防水防油抗渗透剂，可冲洗 | 大面积台架连续作业：机台底部与地沟、油污与切削液环境、设备搬入与改造后复检 |
| LUYOR-3115 | 15 颗 365nm UV-A LED；380mm 处约 9500 μW/cm²，照明面积约 250×500mm；白光泄漏低于 22lux；IP65 | 吊挂安装，角度可调，可多灯组合 | 固定工位整面覆盖：荧光渗透与磁粉检测工位、大件整面过检 |
| LUYOR-365L | 多颗大功率 365nm LED；38cm 处中心约 6500 μW/cm²，有效照射面积约 200mm；锂电池，连续 3-5 小时 | 手持筒身，0.36kg（不含电池） | 整段管路、整台机组、反应釜的查漏与荧光渗透检查 |
| MNT-365A | 365nm 荧光激发；光滑一体式筒身，无滚花纹理，不产尘不掉屑 | 可直接带入无尘区，不造成二次污染 | 洁净室日常巡检、载具与料盒的有机污染物排查、机台 PM 验收 |
| LUYOR-2130L | 3 颗大功率 365nm LED；距灯头 150mm 中心 25000 μW/cm²；三档亮度；白光照度低于 15lux | 手持，锂电池 | 近距离定点检查：氧气管道与阀门的脱脂清洗验收 |
| LUYOR-3180 | UV-A LED 聚光；365nm，38cm 处 30000-40000 μW/cm²，光束中心直径 30mm；IP65 | 手持，配两节电池与车载充电器 | 高强度定点终判：微量润滑脂外溢确认、可疑点位复核 |
配套的强光检视设备：LUYOR-3360G 变焦手电筒查无机颗粒、LUYOR-3318 台式匀光灯做固定工位批量检视、LUYOR-3325G 黄绿光便携式巡扫晶圆整面；相关取舍见表面检查灯选购指南。
| 现场场景 | 推荐设备 | 理由 |
|---|---|---|
| 机台 PM 后复检、机台底部与地沟 | LUYOR-BBMA | IP68 可冲洗、油污环境耐受、28.5cm 大光斑连续扫查 |
| FOUP 与晶圆载具内壁、卡槽 | MNT-365A + LUYOR-3360G | 紫外查纤维皮屑油脂，掠射查卡槽里的颗粒与划痕 |
| 洁净室日常巡检与来料验收 | MNT-365A | 一体光滑筒身可直接带入无尘区，不产尘 |
| 固定工位整面荧光判读 | LUYOR-3115 | 吊挂 250×500mm 覆盖，白光泄漏低于 22lux，接近暗室条件 |
| 管路、反应釜、机组查漏 | LUYOR-365L | 200mm 照射面积，整段管路快速过检 |
| 氧气管道脱脂清洗验收 | LUYOR-2130L | 150mm 处 25000 μW/cm²，三档亮度适配近距离判读 |
| 可疑点位终判与微量油脂确认 | LUYOR-3180 | 38cm 处 30000-40000 μW/cm²，高强度窄光束 |
| 无机颗粒与划痕检视 | LUYOR-3360G / LUYOR-3318 | 黄绿光掠射让无机颗粒与微划痕现形 |
答：不能。颗粒物检测灯是荧光激发与目视判读工具，输出的是「有没有、在哪里、是什么类型」的定性结论。颗粒数量需要粒子计数器给空气悬浮颗粒浓度与粒径分布，指定点位的定量结果则靠擦拭取样送实验室分析。三者分工见文中的对照表。
答：因为两者的物理原理不同。纤维、皮屑、油脂这类有机污染物在 365nm 紫外下发出可见荧光，紫外灯查的就是它们；硅屑、金属磨屑、玻璃碎屑不发光，只能靠强光掠射让颗粒散射现形。只做紫外会漏掉无机颗粒，只做强光会漏掉有机残留。洁净区复检的通行做法是强光先看有没有、紫外再看是什么，顺序固定下来便于形成记录。
答：三个特征对上了复检工位。①IP68 一体封装，防水防油抗渗透剂，机台底部、地沟与切削液残留环境可直接冲洗；②8 颗 LED 排成阵列，38cm 处中心 9000 μW/cm² 对应 28.5cm 有效光斑，一次覆盖整片区域，判读条件在区域内保持一致；③白光阻挡滤光片压低可见光，抬高荧光与背景的对比度，弱荧光残留也激得出来。交流供电型可整天点亮，适合台架连续作业。
答：要看筒身结构。带滚花、螺纹、缝隙的筒身容易藏污积屑，在洁净区本身就是污染源。选一体光滑筒身的型号（如 MNT-365A），可安全带入无尘区。大光斑固定型设备（如 BBMA、3115）则用于机台外围、载具暂存区与工位台架，不进洁净室核心区。
答：需要。镜头表面的油污与粉尘会显著削弱回光与激发效果，导致弱荧光残留被漏判。建议每次使用前用无尘布擦拭灯头，纳入点检表；进出洁净区前后各做一次。
答：有一种情况常被误判为方法问题——残留其实不是颗粒，而是清洗剂或水渍形成的均匀薄膜。均匀淡荧光通常是清洗剂残留而非颗粒污染，处置方式是复核清洗流程与干燥环节，而不是反复擦洗。区分方法与判据见载具内壁颗粒污染怎么查一文。
